氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。
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